淮北小型工业烤箱

中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。

一、热工系统

1.额定温度 800℃

2.较高温度 850℃

3.加热元件 陶瓷外丝加热管

4.加热功率 18kw

5.空炉保温功率 约 9kw

6.温区个数 1 个

7.控温点数 2 点

8.热偶 K 分度

9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台)

10.炉膛温度均匀度 ±6℃（恒温 800℃,1h）

二、气氛系统

1.炉膛气氛 2 路氮气，流量计量程为 2～20L/min；每路流量可调节

2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱，用于废气排放，废气

3.经过水封清洗后进入大气中，减少对环境污染

4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量：

5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量

6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量

三、冷却系统

1.冷却结构 无

2.产品降温 随炉降温

3.安全保护

4.报警指示 超温、断偶、停水、停气等声光报警保护

5.设备安全升温速率 ≤5℃/min

四、温度控制系统

1.温度测量 采用 K 分度热偶测量

2.控制仪表 采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高温

3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能

4.控制方式 固态继电器过零控制

5.超温处理 ⑴.当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警。

⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时，报警。 选择工业烤箱应该注意什么？合肥真萍科技告诉您。淮北小型工业烤箱

下面为大家简单介绍一下真萍科技的产品之一——洁净烘箱。

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，普遍应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

技术指标：

可靠的测控系统

1温度控制装置：进口温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能

2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶

3温度监控装置：采用六通道巡回检测 有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。

完善的控制系统，及安全防护措施

1操作控制系统，采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制，更快速，更稳定。

2防护措施：紧急停止，超温保护,断线报警，相序保护，过载保护，短路保护，漏电保护，及电磁门禁保护等 南通工业烤箱专卖合肥真萍科技工业烤箱，有口皆碑。

下面为大家简单介绍一下真萍科技的产品之一——洁净烘箱。

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，普遍应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

技术指标：

1 无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）

2温度范围：+60℃~ +250℃（极限温度350℃）

3温度均匀性：±2℃（空箱测试）

4温度精确度：±1℃（空箱测试）

5设备型号规格:

450*450*450450*600*450600*800*600600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;

箱体结构：

1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N2 进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，防止了热能浪费。

4电热部分：采用覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器

HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。 合肥真萍科技为您提供专业的售后服务！

HMDS真空烤箱主要技术指标：

1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

2. 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。

3. 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。

4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。

5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。

6 HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。

7. 低液报警装置，采用红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）

8. 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）

9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）

合肥真萍科技告诉您工业烤箱的选择方法。安徽工业烤箱专卖

真萍科技为您提供定制各种尺寸工业烤箱。淮北小型工业烤箱

一、本产品广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验.

二、主要技术指标：

1、工作室温度范围：常温～ +300℃   用户使用温度260℃

2、温度波动度：    ±1.0℃（空载）；

3、温度偏差：     常压温度试验：常温～200℃时±2℃  

200～300℃时±5.0℃

低气压高温综合试验:≤100℃时±2.0℃，

100℃～200℃时±5.0℃

200℃～300℃时±7.0℃

4、 升降温速率：

升温时间：①常压时：90min（常温～ +260℃）

    ②低气压0.0001pa时：180min（常温～ +260℃）

降温时间：3℃～10℃/min（260℃～ 120℃）, 1℃～5℃/min（120℃～ 常温℃）

降温方式：水冷降温

5、试验箱承压方式：采用内承压方式

6、压力范围：     常压～0.0001Pa 淮北小型工业烤箱

合肥真萍电子科技有限公司致力于仪器仪表，是一家生产型公司。公司业务涵盖洁净箱，干燥箱，高温无氧烤箱，隧道炉等，价格合理，品质有保证。公司将不断增强企业重点竞争力，努力学习行业知识，遵守行业规范，植根于仪器仪表行业的发展。真萍电子秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念，全力打造公司的重点竞争力。